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HVA 真空閘閥 31200 係列
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HVA 真空閘閥 31200 係列


31200 係列百萬周期長壽命真空閘閥

31200 係列真空閘閥有個正麵的開關, 這種閥門真空閘閥能夠在隨壓力下降而電力丟失的情況下保持關閉的狀態. 真空閘閥直線驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器。獨特的氣缸設計使衝擊和振動減少到最小. 這些真空閘閥真空腔內沒有機械鎖,這樣此就非常有益於半導體製造和其他敏感過程要求操作時相對自由振動的. 真空閘閥所有移動的接頭都有硬軸,減少微粒的產生並且使驅動更容易. HVA 真空閘閥不鏽鋼閥體提供了真空閥門業最小的內部表麵區域. 閥體和所有主要內部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空爐中焊接的, 確保了最大的完整性. 這就消除了虛漏和缺陷部分, 使在常規狀態下焊接出現的閥體變形的可能最小化了. 在保養方麵, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個係統中拆卸出來.

 

31200 係列百萬周期長壽命真空閘閥特點

1. 硬化不鏽鋼軸驅動軸和驅動銷

2. 氣動驅動

3. 不鏽鋼焊接波紋管

4. 標準或定製法蘭

5. 電磁閥控製並帶有手動操控

 

31200 係列百萬周期長壽命真空閘閥技術參數

連接形式:

標準或定製法蘭

主體材料:

304 不鏽鋼

公稱通徑:

DN16-DN600 mm

漏率:

2x10E-10 AtmCC/Sec

壓力範圍: 

1x10E-9 Torr

烘烤溫度:

《200℃

適用介質:

水、蒸汽、空氣

密封形式:

軟密封型

驅動方式:

電動氣動

使用壽命:

1000000 啟閉次數

 

31200 係列百萬周期長壽命真空閘閥應用

這些真空閘閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環,少量維修保養和緊閉關閉的低漏氣閥門.

 

31200 係列百萬周期長壽命真空閘閥部件圖

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