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HVA 三位真空閘閥 21700 係列
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HVA 三位真空閘閥 21700 係列

美國 HVA 三位真空閘閥 21700 係列
HVA 三位真空閘閥 21700 係列適用於刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控製工藝的行業。HVA 三位真空閘閥與上遊質量流量控製器一起使用時,提供異常壓力控製功能,該真空閘閥也適用於從粗真空到高真空的平穩過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調節器控製閥門的3種開啟方式:一個電磁閥控製閥門的完全關閉和完全開啟,另一個電磁閥用於控製和調節閥門的任意開啟位置。21700 係列三位真空閘閥廣泛應用於低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對清潔度要求高、低除氣的高真空行業。.
HVA 三位真空閘閥 21700 係列產品特點
1. 機械預設、遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標準或者定製法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 係列技術參數:

閥門材質:

閥門主體

304不鏽鋼

焊接波紋管軸封

AM-350

驅動軸和驅動銷

硬質不繡鋼

閥門密封方式:

高真空

氟橡膠

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差壓關閉

1 bar

真空:

壓力範圍

高真空1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差壓關閉

1 bar (任意位置)

開啟前最大壓力

≤ 30 mbar

烘烤溫度(不含電磁閥):

閥門主體

150 °c

驅動方式

氣動 60 °c

使用壽命:100,000啟閉次數

公稱通徑:DN100-320 mm


HVA 三位真空閘閥 21700 係列訂貨號及2D,3D展示圖

DN

Model

KF/ISO-F

ISO-K

CF-F*

mm

inch

Number

3 (Bolted)

6 (Clamped)

0 or 4 (Conflat)

100

4.00

21712-040_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

160

6.00

21712-060_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

200

8.00

21712-080_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

250

10.00

21712-100_R

2D

3D

-

2D

3D

320

12.00

21712-120_R

2D

3D

-

2D

3D

 

HVA 三位真空閘閥 21700 係列部件圖

美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門製造商。美國HVA原裝進口真空閥門,超過50年的高真空和超高真空閥門設計與製造。主營高真空閘閥高真空角閥廣泛應用於半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域。上海天天看是美國HVA 真空閥門在中國地區唯一指定總代理商
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